Полупроводнички ЦНЦ обрађени делови

Производимо по мериполупроводнички ЦНЦ обрађени деловииз цртежа купаца и ЦАД датотека, укључујућикомпоненте вакуумске коморе, плоче за дистрибуцију гаса и фитинзи, делови за руковање и стезање плочица, компоненте пумпе и вентила, РФ делови, плоче за хлађење, хладњаци и компоненте процесног комплета. Наше могућности ЦНЦ стругања, глодања, 5-осинске обраде, швајцарског ЦНЦ-а и окретног-глодала подржавају компоненте са уском толеранцијом за гравирање, таложење, литографију, јонску имплантацију, ЦМП и метролошку опрему.

 

Делови полупроводничке опреме живе у другачијем свету од обичних индустријских делова: морају да преживезахтеви за вакуум, корозивне процесне гасове, плазму, циклусе температуре и{0}}контролу честица. Избор материјала је стога прва одлука у било ком пројекту машинске обраде полупроводника. Обрађујемо прецизне оцене -316Л ВИМ-ВАР и 316Л нерђајући, алуминијум 6061-Т6 и 7075-Т6, титанијум 5, ТЗМ молибден, ОФХЦ бакар Ц10100, легуре никла и ПЕЕК/ПТФЕ инжењерске пластике- и примените завршне слојеве компатибилне са чистим просторима{1}} тамо где их апликација захтева. Делови се израђују према одређеним димензијама, толеранцијама, материјалима и захтевима за завршну обраду, са сертификатима материјала доступним на захтев.

 

Од појединачних прототипова за развој нових алата до поновљених производних серија за резервне процесне комплете, обрађујемо полупроводничке компоненте до цртежа - без обзира на количину.

 

Пошаљите свој цртеж полупроводничког дела- пошаљите свој цртеж или ЦАД датотеку на преглед материјала и машинске обраде.

 

Имате прилагођени полупроводнички део? Пошаљите своју ЦАД датотеку

 

 

За полупроводничке компоненте, избор материјала зависи одкомпатибилност вакуума, хемија процеса, отпорност на плазму, температура, магнетизам, стварање честица и управљање топлотом. Обрађујемо низ металних и инжењерских пластичних материјала за коморе, гасне системе, руковање плочицама, РФ и термичке делове.

Материјал	Цоммон Градес	Типичне примене полупроводника	Кључне предности
Алуминијум	6061-T6 · 6063-T5 · 7075-T6 · 5052-H32	Тела комора, основне плоче, роботске руке, хладњаци, носачи	Лаган, анодизиран, добра топлотна проводљивост; 6061-Т6 је радни коњ за хардвер коморе
нерђајући челик	304Л · 316Л · 316Л ВИМ-ВАР · 17-4 ПХ (630)	Вакумске прирубнице, гасни спојеви, делови вентила, хардвер велике{0}}врсте	Отпорност на корозију и температуру; 316Л ВИМ-ВАР је стандард за УХВ услугу ниског-испуштања гаса
Титанијум	Оцена 2 (ЦП) · Оцена 5 (Ти-6Ал-4В)	Делови за дистрибуцију гаса, процесни комплети, хардвер за мокру обраду	Отпорност на плазму и хемикалије, висока чврстоћа-према-тежини, немагнетна
Бакар	Ц10100 (ОФХЦ) · Ц11000 · Ц17200 берилијум бакар	РФ делови, расхладне плоче, контактне опруге, електрични хардвер	Одлична електрична и топлотна проводљивост; ОФХЦ идеалан за РФ и управљање топлотом
Легуре никла	Инцонел 718 · Хастеллои Ц-276 · Инвар 36	Хемијски{0}}отпорни фитинги, делови на високим{1}температурама, метролошке структуре	Отпорност на хемикалије и температуру; Инвар 36 нуди скоро{1}}нулту термичку експанзију

 

 

Нисте сигурни која оцена одговара вашем делу?Пошаљите нам процесно окружење (ниво вакуума, хемија гаса, температура, изложеност радиофреквентним таласима) заједно са вашим цртежом - ми ћемо препоручити материјал и завршну обраду површине пре него што понудите понуду.

 

Полупроводничке компоненте често захтевају тачност микронског{0}}нивоа на површинама заптивања, монтажним датумима, контактним површинама{1}}вафера и прецизним отворима, тако да се алати правилно склапају и процеси остају поновљиви.

 

Спецификација	Типична способност	Типичне примене полупроводника
Линеарне димензије	±0,01 мм (прецизност до ±0,005 мм)	Делови коморе, основне плоче, колектори
Пречник отвора и осовине	±0,005–0,01 мм	Ротори пумпе, вретена вентила, прецизне арматуре
Флатнесс	До 0,01 мм/100 мм	Заптивне површине, расхладне плоче, кинематичке монтаже
Концентричност / Руноут	До 0,01 мм	Ротациони делови пумпе, спојнице
Труе Поситион	±0,01 мм	Шеме рупа за вијке, рупе за дистрибуцију гаса
храпавост површине	Ра 0,2–0,8 μм стандард; Ра 0,1–0,4 μм на захтев	Површине за заптивање, контактне површине{0}}вафера, унутрашњост коморе
Едге Дебурринг	Контролисано по цртежу (микро{0}}доступно уклањање ивица)	Све честице{0}}критичне делове
Тхреад Толеранце	Према ИСО / АСМЕ захтевима	Фитинги, прирубнице, монтажни окови

 

Критичне карактеристике које контролишемо

Заптивне и{0}}жлебови за прстенове- контролисана дубина, ширина и завршна обрада површине за вакуумске и флуидне заптивке.

Контактне површине{0}}вафера- контрола равности и храпавости да би се избегло оштећење плочице и стварање честица.

Прецизна бушења и уклапања- тачни отвори за лежајеве, вратила и компоненте за пресовање{1}}.

Рупе за дистрибуцију гаса- тачна величина рупе, положај и уклањање ивица за равномеран проток гаса.

Датум и карактеристике монтаже- конзистентне податке за поновљиво склапање и поравнање.

 

Завршна обрада површине је део стратегије контаминације и корозије у полупроводничкој опреми. Права завршна обрада контролише честице, испуштање гасова, хемијску отпорност и електрично понашање.

Нисте сигурни који завршетак одговара вашем процесу?Пошаљите свој цртеж, материјал и апликацију за препоруку за завршну обраду.

 

Ми проверавамо критичне димензије, уклапање, равност, избочење и површинске захтеве током производње како бисмо осигурали да ЦНЦ обрађени полупроводнички делови испуњавају цртеж. За пројекте који захтевају документовани квалитет, можемо да обезбедимо сертификате материјала, извештаје о димензијама и документацију о чистоћи као подршку вашој долазној инспекцији.

Потребна вам је документована контрола квалитета?Пошаљите нам своје цртеже и захтеве за инспекцију.

 

Полупроводнички пројекти често почињу са прототиповима - новим дизајном алата, развојем комплета процеса, деловима за надоградњу или заменским компонентама које морају бити валидиране пре производње. Ми подржавамопрототип и -ЦНЦ обрада мале количинеод почетних узорака до поновљених малих{0}}наруџбина.

Погодно за

Вакумска комора и хардвер за довод гаса

Компоненте за руковање плочицама и стезање

Делови за једкање, таложење и јонску имплантацију

РФ, електрични и термални делови за управљање

Опрема за метрологију и инспекцију

Резервни делови и процесни комплети за постојеће алате

 

Паковање

Лична заштита:ПЕ кесе, пена или заштитни филм за обрађене површине

Паковање чисте собе:Очишћени делови двоструко-паковани у чисте кесе (доступна опција-пречишћавања азотом)

Мали делови:Подељени картони за спречавање гребања и контакт{0}}до{1}}делова

Прецизни делови:Уметци од пене и одвојени одељци за критичне компоненте

Прилагођено паковање:Бројеви делова, етикете, количине и захтеви{0}}за паковање специфичних за купце

 

Типично време испоруке

Врста налога	Типично време испоруке
Прототип	5–10 радних дана
Мали{0}}наруџбина	10–20 радних дана
Продуцтион Ордер	15–30 радних дана
Поновите налог	10–25 радних дана

 

Требате одређени распоред испоруке?Пошаљите своје цртеже, количине и захтеве за завршну обраду за{0}}конкретну понуду.

 

Пошаљите свој 2Д цртеж или 3Д ЦАД датотеку, разред материјала, количину, толеранцију и захтеве за завршну обраду.

 

Popularne oznake: полупроводнички цнц обрађени делови, Кина полупроводнички цнц обрађени делови произвођачи, добављачи, фабрика, титанијум